SJ 1551-1979 硅外延层电阻率测试方法(电容-电压法)(暂行)
部分标准内容：中华人民共和国第四机械工业部部标准
硅外延层电阻率测试方法
（电容一电压法
SJ1551-79
（暂行）
中华人民共和国第四机械工业部标
硅外延层电阻率测试方法
（电容－电压法）
本标准适用于检测N/N+、P/P+结构硅外延层的净杂质浓度，通过净杂质浓度与电阻率的关系曲线（见图1），可求得电阻率。1.测试范围：1×1014~1×107原子/cm32.原理：
若在硅外延片表面形成一个面积为A的肖特基二极管，在反向偏压下?..................
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