GB/T 14140.2-1993 硅片直径测量方法 千分尺法
部分标准内容：中华xxxx国G家标准
硅片直径测量方法，千分尺法
Silicon slices and wafers-Measuringof diameter--Micrometer method1主题内容与适用范围
本标准规定了用千分尺测量硅片直径的方法。本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为25～100mm。本标准不适用于测量硅片的不圆度。本标准不作为仲裁测量方法。...................
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