SJ/T 31090-1994 6－CTVH－B切割机完好要求和检查评定方法
部分标准内容：中华xxxx国电子行业标准
6-CTVH-B型切割机完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范围
本标准规定了6-CTVH—B型切割机的完好要求和检查，评定方法。本标准适用丁半导体集成电路生产用切割机2完好要求
2.1主要技术指标
2.1.1几何精度
SJ/T 3109094
6-CTVH一B型切割机主要几何精度究好要求和检测力法，见下表所死给测项出
主轴轴向窜动
完好要求
2.1.2主要性能要求：
检測方法及器具
将指示器固定在?..................
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