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› SJ/T 31121-1994 JB-VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
52ky2
发表于 2026-2-1 00:30:00
SJ/T 31121-1994 JB-VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
部分标准内容:
中华xxxx国电子行业标准
JB一证型掩模对准曝光机
完好要求和检查评定方法
1生题内容与用范围
SJ/T31121-94
本标准规定了JB一VI型掩模对准曝光机的宪好要求和检查,评定方法。本标准具适旧于JB-VI型掩模对准曝光机和JB-IV、JB-VI型,JBI型掩模对曝光机。...................
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SJ/T 31121-1994 JB-VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法