SJ/T 31117-1994 15B型磨片机完好要求和检查评定方法
部分标准内容：中华xxxx国电子行业标准
15B型磨片机完好要求和检查
评定方法
1主题内容与适用范围
本标准规定了15B型磨片机的完好要求和捡查、评定方法。SJ/T 31117—94
本标准适用于15B型磨片机和9B型磨片机，其它磨片机亦可参照本标准有关条款执行。2完好要求
2.1主要技术指标www.bzxz.net
2.1.1磨后硅片厚度允拳：
2.1.2磨削速率：
2.1.3磨盘转速：
2.1.4空气压力设定：
2.1.5磨片压力：
±2.5μm/盘。
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