SJ/T 31079-1994 正、负胶显示影机、匀胶机完好要求和检查评定方法
部分标准内容：中华xxxx国申学行业标准
正胶显影机、负胶显影机、匀
胶机完好要求和检查评定方法
主题内容与适用范围
SJ/T 31079—94
本标准规定了正胶显影机，负胶显影机、勾胶机和擦片机的完好要求和检查，评定方法。本标准适用于半导体集成电路、晶体管生产中，硅片正性胶显影的正胶显影机、负性胶显影的负胶显影机、硅片涂胶自动与胶机和自动擦片机。2完好要求
2.1主要技术指标
正胶显影机、负胶显影机和匀胶机的...................
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