SJ/T 31075-1994 ED-401型装片机完好要求和检查评定方法
部分标准内容:中华xxxx国电子行业标准
ED一401型装片机完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范围
本标准规定了ED一401型装片机的宪好要求和检查、评定方法SJ/T31075--94
本标准适用于ED一401型装片机,其它半导体集成电路生产用的类似结构装片机也可参照执行。
2完好要求
2.1主要技术指标
2.1.1主要技术指标完好要求见下表。序号
检测项目
工作台送逃速度
机器生产能力
胶滴下位昏差错
袋片精度
2.2操作系统
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