GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法
部分标准内容：中华xxxx国G家标准
硅片直径测量方法
光学投影法
Silicon slices and wafers--Measuringof diameter-Optical projecting method主题内容与适用范围
本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为40～100mm。本标准不适用于测量硅片的不圆度。本标准用作仲裁测量方法。...................
更多内容请下载后查看！
页:
[1]