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GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法

硅片测量直径标准 | 国家标准(GB)/机械行业(JB) 2 小时前 1 0star收藏 版权： . 保留作者信息 . 禁止商业使用 . 禁止修改作品
部分标准内容：
中华xxxx国G家标准
硅片直径测量方法
光学投影法
Silicon slices and wafers--Measuringof diameter-Optical projecting method主题内容与适用范围
本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为40～100mm。本标准不适用于测量硅片的不圆度。本标准用作仲裁测量方法。...................
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