SJ/T 31070-1994 1482型键合机完好要求和检查评定方法
部分标准内容：中华xxxx国电子行业标准
1482型键合机完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范国
本标准规定了1482型键合机的完好要求和检查、评定方法。SJ/T 31070 -- 94
本标准适用于1482型键合机。其它半导体器件生产用类似结构键合机亦可参照执行。2完好要求
2.1主要技术指标
2.1.1主要技术指标完好要求见下表。序号
梭涵项口
X向工作台、
Y向工作台
的键合范围
2.1.2性能指标
系统精度
2.1.2.1键合拉断强度...................
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