部分标准内容：
中华xxxx国电子行业标准
1482型键合机完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范国
本标准规定了1482型键合机的完好要求和检查、评定方法。SJ/T 31070 -- 94
本标准适用于1482型键合机。其它半导体器件生产用类似结构键合机亦可参照执行。2完好要求
2.1主要技术指标
2.1.1主要技术指标完好要求见下表。序号
梭涵项口
X向工作台、
Y向工作台
的键合范围
2.1.2性能指标
系统精度
2.1.2.1键合拉断强度...................
更多内容请下载后查看！
18334252892[下载].rar
|
收藏
