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SJ/T 31067-1994 S枪磁控溅射台完好要求和检查评定方法

磁控溅射阴极求和完好 | 电子行业(SJ)/化工行业(HG) 2 小时前 1 0star收藏 版权： . 保留作者信息 . 禁止商业使用 . 禁止修改作品
部分标准内容：
中华xxxx国电子行业标准
S枪磁控溅射台
完好要求和检查评定方法
1主题内容与适用范压
本标准规定了S枪磁控溅射台的完好要求和检查，评定方法。本标准适用于进口 S枪磁溅射台。2名词与术语
SJ/T 31067--94
2.1磁控溅射一利用止交的电磁场，有效地将电子运动限制在阴极表面附近，使阴极附近气体分子的电离和激发儿率提高的溅射：2.2S枪-磁控装置的-种形式，由E×B场的结构所决定，阴极附近会形成一片强等?..................
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