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中华xxxx国电子行业标渔
RD一4500型离心干燥机完好要求和检查评定方法
1主要内容与适用范围
S.I/T 31062—94
本标准规定了RD一4500型离心干燥机的完好要求和检查、评定斤法。本标准适用工RD一1500离心干燥机。其它半导体器件、集成电路生产用的类似结构离心干燥机亦可参照执行。
2完好要求
2.1主要技术指标
2.1.1转速：千燥最人1850r/min，漂洗z大450x/min2.1.2压力：10.447×103~-1.39345×10*Pa;2.1...................
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