部分标准内容：
中华xxxx国电子行业标准
24型晶片数控抛光机
完好要求和检查评定方法
1主题内容与适用范围
本标准规定了品片数控研磨、抛光机的完好要求和检查、评定方法。SJ/T 31065—94
本标准适用于Kayex一Spitfrc:360系统（24型）研磨、抛光机，结构类似的其它型号的研磨、抛光机，亦可参照本标准有关条款执行。2完好要求
2.1主要技术性能
2.1.1\1.件加T.时，不应发生曲现象，应能稳定地达到加工面精度要求，无魔?..................
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