52ky2 发表于 2026-6-10 00:30:00

GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

本准则的范围是制定有关光掩模缺陷分类用的标准术语，并规定缺陷大小的表达方法。确定光掩模缺陷时应遵循这个准则。 GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 GB/T16880-1997 ...................
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