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GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

缺陷准则分类16880 | 国家标准(GB)/机械行业(JB) 2 小时前 1 0star收藏 版权： . 保留作者信息 . 禁止商业使用 . 禁止修改作品
本准则的范围是制定有关光掩模缺陷分类用的标准术语，并规定缺陷大小的表达方法。确定光掩模缺陷时应遵循这个准则。 GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 GB/T16880-1997 ...................
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