52ky2 发表于 2026-6-10 00:30:00

GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范

本规范规定若干种标准测试图形，用以对集成电路生产中所用的微图形设备、计量仪器和工艺进行一致的全面评估和检测。 GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范 GB/T16878-1997 ...................
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