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GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范

图形集成电路检测16878 | 国家标准(GB)/机械行业(JB) 2026-06-10 51 0star收藏 版权： . 保留作者信息 . 禁止商业使用 . 禁止修改作品
本规范规定若干种标准测试图形，用以对集成电路生产中所用的微图形设备、计量仪器和工艺进行一致的全面评估和检测。 GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范 GB/T16878-1997 ...................
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