52ky2 发表于 2026-6-14 00:30:00

GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂

本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。 GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂 GB/T16527-1996 ...................
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