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GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂
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GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂
光致抗蚀剂
硬面
电子束
光板
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国家标准(GB)/机械行业(JB)
5 小时前
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本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。 GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂 GB/T16527-1996 ...................
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