52ky2 发表于 2 小时前

JB/T 2965-1992 溅射离子泵 性能测试方法

本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。 本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵。 JB/T 2965-1992 溅射离子泵 性能测试方法 JB/T2965-1992
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