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JB/T 2965-1992 溅射离子泵 性能测试方法

离子性能测试标准 | 国家标准(GB)/机械行业(JB) 1 小时前 4 0star收藏 版权： . 保留作者信息 . 禁止商业使用 . 禁止修改作品
本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。 本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵。 JB/T 2965-1992 溅射离子泵 性能测试方法 JB/T2965-1992
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