概述电子气体包括大宗电子气体和电子专用气体，是集成电路、显示面板、半导体照明、光伏等行业生产制造过程中不可缺少的关键材料，是集成电路制造中的第二大制造材料，仅次于硅片，占晶圆制造成本的13%。电子专用气体主要用于光刻、蚀刻、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺，主要分为三氟化氮等清洗气体、六氟化钨等金属气相沉积气体等。电子特种气体(简称电子特气)是特种气体的一个重要分支，是超大规模集成电路(IC)、平面显示器件(LCD、LED、OLED)、...................
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