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GB/Z 43684-2024纳米技术 光栅的描述、测量和尺寸质量参数

光栅纳米技术参数质量 | 国家标准(GB)/机械行业(JB) 2025-06-23 116 0star收藏 版权： . 保留作者信息 . 禁止商业使用 . 禁止修改作品
本文件界定了以光栅特征与标称位置偏差来解释光栅的全局和局部质量参数的通用术语，并提供了测定参数所用的测量与评价方法分类的指南，以及在纳米技术的不同应用领域保证生产和使用光栅质量的指南。本文件所定义和描述的方法适用于不同种类的光栅，但本文件重点关注一维（1D）和二维（2D）光栅，以便于纳米技术领域中涉及光栅尺寸质量参数表征的制造商、用户和校准实验室之间的使用。...................
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