GB/T 38616-2020.Terminology for nano positioning and scanning stage.GB/T 38616界定了纳米定位与扫描平台(以下简称平台)的术语定义。
GB/T 38616适用于纳米定位与扫描平台产品参数的定义。
2通用术语
2.1
压电陶瓷驱动器 piezo actuator
利用纵向压电效应将电能转化为机械能的陶瓷元件。
2.2
柔性铰链机构 flexure hinge mechanism
利用材料弹性形变产生位移的一种特殊运动副,具有无机械摩擦、运动灵敏度高、位移分?..................
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