GB/T 38614-2020.Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator.GB/T 38614规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台(以下简称为平台)的测量条件、测量系统和测量方法。
GB/T 38614适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用。...................
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