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文库首页 › 分类大区 › 更多类似资源请点击→ 行业标准 › GB 50467-2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范
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GB 50467-2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范

微电子设备安装生产规范 | 国家标准(GB)/机械行业(JB) 2025-08-20 47 0star收藏 版权： . 保留作者信息 . 禁止商业使用 . 禁止修改作品
GB 50467-2008.Code for construction and acceptance of micro-electromnics manufacturing equipment installation engineering.
1总则
1.0.1 为规范微电子生产设备安装工程施工，确保微电子生产设备安装质量和可靠运行，促进微电子生产没备安装技术的发展,制定本规范。
1.0.2 GB 50467适用于集成电路,半导体分立器件生产设备安装工程的施工及验收。本规范不包括集成电路及半导体分立器件生产设备联动调试及试生产。
1.0.3...................
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