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GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位

准直射线薄膜厚度 | 国家标准(GB)/机械行业(JB) 2025-09-03 77 0star收藏 版权： . 保留作者信息 . 禁止商业使用 . 禁止修改作品
部分标准内容：
ICS71.040.40
中华人民共和国G家标准
GB/T36053—2018/ISO16413:2013X射线反射法测量薄膜的厚度、
密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-rayreflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioningdata collection,data analysis and reporting(ISO16413:2013.IDT)
2018-03-15发布
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