部分标准内容：
ICS23.160
备案号：28640—2010
中华人民共和国机械行业标准
JB/T89452010
代替JB/T8945—1999
真空溅射镀膜设备
Vacuumsputteringcoatingplant2010-02-11发布
2010-07-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布前言
范围、
规范性引用文件
型号与基本参数
技术要求
设备正常工作条件
结构要求.
制造质量..
安全防护要求
试验方法
极限压力的测定
抽气时间的测定
升压率的测定，
溅射电流的?..................
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