部分标准内容:
中华人民共和国有色金属行业标准外延钉缺陷的检验方法
主题内容与适用范围
本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。YS/T 24-—92
本标准适用于任何直径与晶向的硅外延片上高度不小于4um的钉缺陷存在与否的判断。如果钉缺陷比较少且彼被此不相连,本标准可用于钉缺陷的计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。2方法提要
将一片聚酯塑料薄膜以特殊方式沿三个不同方向推过试样表面,在两个或两个以上方向碰到的表面突起物...................
更多内容请下载后查看!
12422285040[下载].rar
|