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中华xxxx国电子工业部指导性技术文件半导体材料发射光谱分析方法通厕SJ/Z3206.13--89
本标准适用于锗、硅、砷化像、掌化钢和锑化钢等半导体材料发射光谱分析方法的一般通则,其内容包括基本原理、仪器、标准溶液配制、样品处理方法、摄谱条件的造择、以及有关的一般规定。
1引篇标准
1.1GB9259-88发射光谱分析名词术语1.2SJ/Z3206.3--89发射光谱分析用仪器及其性能要求1.3SJ/Z3206.11--89发射光谱定量分析?..................
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