部分标准内容:
备率号:2087—1998
中华xxxx国电子行业标准
SJ/T11184-t998
显影设备通用规范
General specielcation for developing egaipment1998-03-11发布
1998-05-01实施
中华xxxx国电子工业部发布YKoNK
运标准是对以3194—80(显影设备还月技术录件>的修订版本,去标准与S3194—89的主要技术差异如下:a)治加了定义:
b)增加了安全和环保的要求:
)扩大了星影仪备的使范用,提高了对性能指标的要求,?..................
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