部分标准内容：
中华xxxx国电子行业标准
SJ/T10478-94
磁控溅射设备通用技术条件
General specification
for magnetic sputtcring equipment1994-04-11发布
1994-10-01实施
中华xxxx国电子工业部发布中华人民井和国电子行业标准
磁控溅射设备通用技术条件
Geaerul specitlcalion
for magpelic spatlering equlpmeal1主题内穿与适用范围
SI/T1047-94
本标准规定了控残射设备的术语、产品分类，技术要求，试验方...................
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