部分标准内容：
中华xxxx国电子行业标准
S/T 10376:1993
工艺文件用基本术语
General terms used for tcchnological clocuments19930721发布
中华xxxx国信息产业部
1993-12—01实施
1土题内容与适用范里
2引用惊准，
3基本概念
工艺对象
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工艺文牛…
艺装备
中华xxxx国电子行业标准
工艺文件用基本术语
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本标...................
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