部分标准内容：
1Cs,23. 160
中华xxxx国G家标准
GB/T 11164—1999
真空镀膜设备通用技术条件
Yacuum coating plant generic specification1999-04 -08发布
1999-09.01实施
G家质量技术监督局发布
GB/T 11164
本标准是对（/11154—1989°真空膜设备通月技术条件3进行订而筛制时在内容上，对基些技术指标进行广修改，划：类镌膜核备推气时可从原类的13、21:min改为1min增加了升片率指标；并且由十原标维中C类恢膜设备...................
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