部分标准内容：
中华xxxx国电子行业标准
真空镀膜设备完好要求
和检查评定方法
1主题内容与适用范康
本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查、评定方法。SJ/T 31082—94
本标准适用于极限压力在1×10-5～1×10-*pa范围内的各种型号真空镀膜设备。2完好要求
2.1主要技术性能
真空键膜设备的主要技术性能指标完好要求，见下表。真空镀膜室规格
(宽度箱式。内径一钟罩式）
廖数名称
极限医（pa）
恢复真空(pa）
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