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部分标准内容:
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封帽机完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范图
SJ/T31077—94
本标准规定了7100AC型、700AC型封媚机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于半导体器件生产中,类似7100AC型、700AC型封幅机。2完好要求
2.1主要技术性能指标
生产效率:3600只/h;
b.z大输出功率:175kW;
c.输出电压范围:1~12.4V,
dz大输出电流:150000A;下载标准就来标准下载网
e.压力可调范用?..................
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