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GB/T 16944-1997 电子工业用气体 氮

工业用气相本标16944 | 国家标准(GB)/机械行业(JB) 3 小时前 2 0star收藏 版权： . 保留作者信息 . 禁止商业使用 . 禁止修改作品
本标准规定了电子工业用液态和气态氮的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于从分离空气或氨还原法制得的氮，在超大规模集成电路制造中用作净化、覆盖、保护、加压，也用于化学气相淀积时的载气等。 GB/T 16944-1997 电子工业用气体 氮 GB/T16944-1997 ...................
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