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本标准规定了圆形石英玻璃光掩模基板的技术要求、试验方法等内容。本标准适用于圆形石英玻璃光掩模基板。 GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范 GB/T16523-1996 ...................
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