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微结构
弯曲
强度
试验
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国家标准(GB)/机械行业(JB)
2025-05-26
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本文件描述了硅基MEMS加工所涉及的微结构弯曲强度原位试验的要求和试验方法。本文件适用于采用微电子工艺制造的微结构弯曲强度测试。...................
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