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GB/T 42895-2023微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法

微结构弯曲强度试验 | 国家标准(GB)/机械行业(JB) 2025-05-26 133 0star收藏 版权： . 保留作者信息 . 禁止商业使用 . 禁止修改作品
本文件描述了硅基MEMS加工所涉及的微结构弯曲强度原位试验的要求和试验方法。本文件适用于采用微电子工艺制造的微结构弯曲强度测试。...................
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