部分标准内容：
ICS 71. 100. 20
中华人民共和国G家标准
GB/T15909—2009
代替GB/T15909—1995
电子工业用气体
硅烷（SiH4）
Gas for electronic industry--Silane2009-10-30发布
中华人民共和国G家质量监督检验检疫总局中GG家标准化管理w员会
2010-05-01实施
本标准代替GB/T15909—1995《电子工业用气体硅烷》。本标准与GB/T15909—1995相比主要变化如下：修改规范性引用文件（GB/T15909一1995的第2章，本版的第2?..................
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