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部分标准内容:
中华人民共和国机械电子工业部部标准重掺砷化和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法
主题内容与适用范围
SJ3248-89
本标准规定了红外反射法测量量掺砷化镓和磷化钢载流了浓度的测量原理、仪器设备、样品制备、测量步骤。结果计算和精度等。本标准适用于测量重掺砷化像和磷化铟单晶载流子浓度,也适用于测量外延层的载流子浓度。
测量浓度范围:
n-砷化:7.0×1016~10×1019cm-3P-碑化像:2.6×1018~1.3×1020...................
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