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SJ 3247-1989 同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测试方法

外延衬底厚度砷化镓 | 电子行业(SJ)/化工行业(HG) 2025-11-22 26 0star收藏 版权： . 保留作者信息 . 禁止商业使用 . 禁止修改作品
部分标准内容：
中华人民共和国机械电子工业部部标准同型神化缘外延层厚度的红外干涉测试方法主题内容与适用范围
SJ3247-89
本标准规定了与衬底同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测量原理，仪器设备，样品制备测量步骤，结果计算和精度。
本标准适用于与衬底同型砷化镶外延层厚度的测量，衬底和外延层室温电阻率应分别小于0.022cm和大于0.192.cm，可测厚度大于2um2原理
衬底和外延层光学常数的差异，导致样品反射光谱出现连续极...................
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