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中华xxxx国电子行业标准
AMC一7811/21型桶式外延炉完好要求和检查评定方法
1主题内容与适用范围
SJ/T31111--94
本标准规定了AMC一7811/21系列桶式外延炉的完好要求和检查，评定方法。本标准适用于AMC-7811/21系列桶式外延炉。2完好要求
2.1主要技术性能指标
2. 1. 1工作温度设定值与显示值误差土3℃。2.1.2H,加压泄漏率：<8.91Pa/min。2.1.3真空泄率：<6.65Pa/min。2.1.4外延层厚度均勾性（片间）：厚度...................
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