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SJ/T 31109-1994 高压单晶炉完好要求和检查评定方法

单晶求和性能高压 | 电子行业(SJ)/化工行业(HG) 2026-02-01 63 0star收藏 版权： . 保留作者信息 . 禁止商业使用 . 禁止修改作品
部分标准内容：
中华xxxx国电子行业标准
高压单晶炉完好要求和检查
评定方法免费标准bzxz.net
1主题内容与适用范癌
S.I/T 31109-94
本标准规定了制取大直径单晶的高单晶炉的究好要求和检查，评定方法。本标准适用于 LD150型高压单晶炉,亦适用于 GID)761型高压单晶炉。2完好要求
2.1 性能
高单品炉的性能，应能满足生产工艺要求，系统内各配套设备（装置）的性能，应符合主设备技术性能要求.设备的主要性能技术指标，应...................
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