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SJ/T 31108-1994 CG3000型单晶炉完好要求和检查评定方法

单晶完好求和评定 | 电子行业(SJ)/化工行业(HG) 2026-02-01 73 0star收藏 版权： . 保留作者信息 . 禁止商业使用 . 禁止修改作品
部分标准内容：
中华xxxx国电子行业标准
CG—3000型单晶炉完好要求和检查评定方法
主题内容与适用范围
本标准规庭了CG—3000型单晶炉的完好要求和检查，评定方法本标准适用于半导体器件生产用单晶炉。2完好要求
2.1性能
2.1.1设备产量.应能达到额定标准。SJ/T31108—94
2.1.2各项性能指标，应满足生产丁艺要求，质量达到规定指标。其中下列指标应达到：a．工作室充氩气真空度：2.7×10°Pa；b。工作室z高温度：1600C；...................
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