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部分标准内容:
中华xxxx国电子行业标准
ZDS-1型电泳机完好要求和检查
评定方法wwW.bzxz.Net
1 主要内容与适用范压
本标准规定了ZDS一1型电泳机的完好要求和检查,评定方法。本标推适用于半导体器件生产用类似ZDS一1型电泳机。2完好要求
2.1主要技术指标
2.1.1玻璃搅拌器可带动ZL玻璃粉溶液进行搅拌。S.J/T 31107--94
2.1.2电极电乐(直流电压0~450V,可调;电压波动不超过工艺要求范围。2.2真空系统
确保阴极板与硅?..................
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