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GB/T 14141-1993 硅外延层,扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法

外延薄层扩散离子 | 国家标准(GB)/机械行业(JB) 2026-01-26 21 0star收藏 版权： . 保留作者信息 . 禁止商业使用 . 禁止修改作品
部分标准内容：
中华xxxx国G家标准
硅外延层、扩散层和离子注人层薄层电阻的测定直排四探针法
Test method for sheet resistance of siliconepitaxial,diffused and ion-implanted layersusing a collinear four-probe array1主题内容与适用范围
GB/T 14141-- 93
本标准规定了用直排四探针测量硅外延层，扩散层和离子注入层薄层电阻的方法。本标准适用于测量直径大于10.0mm用外延、扩散、离子注入到硅圆片表面上或表面下...................
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