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部分标准内容:
中华xxxx国建筑材料工业部部
QSG1、QSG2透明石英玻璃埚
本标准适用于半导体工业拉制单晶用的透明石英玻璃。JC 17981
代替 JC 179-
半导体用透明石英玻璃埚有QSG1高纯透明石英玻璃塌与QSG2透明石英玻璃两种。一、技术要求
1. 物理、化学性能指标
(1)化学成分
a:QSG1高纯透明石英玻璃
铝、钙、镁、钛、铜、铁、钻、镍、锰、硼、钾、钠、锂十三个杂质元素的总含量不得大于0.001%。其中:铝≤5×10-4%?..................
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