部分标准内容:
中华xxxx国电子工业部部标准电子级气体中痕量水分子的测定方法月视露点法
SJ2799-87
本标准适用于、氮、氧、氟、氮、压缩空气、磷烷、孵烷、六氟化硫等电子工业工艺用体中微量水份露点的测定,测范间:>90℃。1定义和方法原理
1.1露点
在恒定的压力下,辉渐冷却气体,气体中的水蒸气达列饱和时的湿度称为露点。1.2方法原理
当被测气体在恒定压力下,以一定的流速流经露点测定室中,可降低精确地测量温?..................
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